Ֆոտոլիթոգրաֆիան օգտագործում է գործընթացի երեք հիմնական քայլ նախշը դիմակից վաֆլի տեղափոխելու համար՝ ծածկել, զարգացնել, մերկացնել: Նախշը փոխանցվում է վաֆլի մակերեսային շերտի մեջ հետագա գործընթացի ընթացքում: Որոշ դեպքերում, դիմադրողական օրինաչափությունը կարող է օգտագործվել նաև նստած բարակ թաղանթի նախշը սահմանելու համար:
Ի՞նչ է ֆոտոլիտոգրաֆիան Ինչպե՞ս է այն աշխատում:
Ֆոտոլիտոգրաֆիան ձևավորման գործընթաց է, որի ժամանակ ֆոտոզգայուն պոլիմերը ընտրողաբար ենթարկվում է լույսի ազդեցությանըդիմակի միջոցով՝ թողնելով թաքնված պատկեր պոլիմերում, որն այնուհետև կարող է ընտրովիորեն լուծարվել՝ ձևավորելու համար: մուտք դեպի հիմքում ընկած ենթաշերտը:
Ինչու է օգտագործվում ֆոտոլիտոգրաֆիան:
Ֆոտոլիտոգրաֆիան միկրոֆրացման ամենակարևոր և ամենահեշտ մեթոդներից մեկն է և օգտագործվում է նյութի մեջ մանրամասն նախշեր ստեղծելու համար: Այս մեթոդով ձևը կամ նախշը կարող է փորագրվել լուսազգայուն պոլիմերի ուլտրամանուշակագույն լույսի ընտրովի ազդեցության միջոցով:
Ինչու՞ է ուլտրամանուշակագույն լույսն օգտագործվում ֆոտոլիտոգրաֆիայում:
Ֆոտոլիտոգրաֆիան թույլ է տալիս բջիջների 3D պարփակումը հիդրոգելներում՝ խաչաձև կապելով բջիջ պարունակող նախապոլիմերը ուլտրամանուշակագույն լույսի ներքո: Ցանկալի օրինաչափությունը ստանալու համար օգտագործվում է ֆոտոդիմակ [88]:
Որո՞նք են ֆոտոլիտոգրաֆիայի պահանջները:
Ընդհանուր առմամբ, ֆոտոլիտոգրաֆիայի գործընթացը պահանջում է երեք հիմնական նյութ, լույսի աղբյուր, լուսանկարչական դիմակ և ֆոտոդիմացկուն: Ֆոտոռեզիստ, ֆոտոզգայուն նյութ,ունի երկու տեսակ՝ դրական և բացասական։ Դրական ֆոտոդիմացկուն ավելի լուծվող է դառնում լույսի աղբյուրի ազդեցությունից հետո:
