Ֆոտոլիտոգրաֆիան մի գործընթաց է, որն օգտագործվում է միկրոմշակման մեջ՝ երկրաչափական նախշերը թաղանթին կամ հիմքին փոխանցելու համար: Կիսահաղորդչի վրա երկրաչափական ձևերն ու նախշերը կազմում են բարդ կառուցվածքներ, որոնք թույլ են տալիս ներծծող նյութերին, էլեկտրական հատկություններին և լարերին միացումն ավարտել և կատարել տեխնոլոգիական նպատակ:
Ինչ է ֆոտոլիտոգրաֆիայի գործընթացը:
Ֆոտոլիտոգրաֆիան, որը նաև կոչվում է օպտիկական լիտոգրաֆիա կամ ուլտրամանուշակագույն լիտոգրաֆիա, գործընթաց է, որն օգտագործվում է միկրոֆաբրիկացման մեջ՝ բարակ թաղանթի կամ ենթաշերտի հիմնական մասի (նաև կոչվում է վաֆլի) վրա ձևավորելու համար:. … Բարդ ինտեգրալ սխեմաներում CMOS վաֆլը կարող է անցնել ֆոտոլիտոգրաֆիկ ցիկլը մինչև 50 անգամ:
Ինչպիսի՞ն է միկրոֆաբրիկացման գործընթացը:
Միկրոպատրաստումը միկրոմետրային կշեռքների և ավելի փոքր մանրանկարչության կառուցվածքների ստեղծմանգործընթացն է: … Միկրոմշակման հիմնական հասկացությունները և սկզբունքներն են միկրոլիտոգրաֆիան, դոպինգը, բարակ թաղանթները, փորագրումը, կապը և փայլեցումը:
Ի՞նչ է լիտոգրաֆիայի գործընթացը կիսահաղորդիչներում:
Կիսահաղորդչային լիտոգրաֆիայի համակարգը ձեռնարկում է գործընթաց, որի արդյունքում մեծ ապակե ափսեից պատրաստված ֆոտոդիմակի վրա գծված խիստ բարդ սխեմաները կրճատվում են՝ օգտագործելով գերբարձր արդյունավետության ոսպնյակներ և ենթարկվում են սիլիկոնային սուբստրատի վրա, որը հայտնի է որպես:վաֆլի: …
Ի՞նչ է լիտոգրաֆիան պատրաստման գործընթացում:
Վիմագրություն էդիմակով երկրաչափական ձևերի նախշերը փոխանցելու գործընթացը ճառագայթման զգայուն նյութի բարակ շերտին(կոչվում է դիմադրություն), որը ծածկում է կիսահաղորդչային վաֆլի մակերեսը: Նկար 5.1-ը սխեմատիկորեն ցույց է տալիս լիտոգրաֆիկ գործընթացը, որն օգտագործվում է IC-ի արտադրության մեջ:
