Կիսահաղորդչային վիմագրության դեպքում (նաև կոչվում է ֆոտոլիտոգրաֆիա) մեր քարերը սիլիկոն վաֆլիներ են և մեր նախշերը գրված են լուսազգայուն պոլիմերով, որը կոչվում է ֆոտոդիմացկուն:
Ի՞նչ նկատի ունեք ֆոտոլիտոգրաֆիա ասելով:
Ֆոտոլիտոգրաֆիան, որը նաև կոչվում է օպտիկական լիտոգրաֆիա կամ ուլտրամանուշակագույն լիտոգրաֆիա, մի գործընթաց է, որն օգտագործվում է մանրամշակման մեջ՝ բարակ թաղանթի կամ ենթաշերտի մեծ մասի վրա մասերի ձևավորման համար (նաև կոչվում է վաֆլի). … Այս մեթոդը կարող է ստեղծել չափազանց փոքր նախշեր՝ մինչև մի քանի տասնյակ նանոմետր չափի:
Ինչու՞ է լիտոգրաֆիան օգտագործվում կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ:
Ֆոտոլիտոգրաֆիան մի գործընթաց է, որն օգտագործվում է երկրաչափական նախշերը թաղանթի կամ հիմքի վրատեղափոխելու համար: Կիսահաղորդչի վրա երկրաչափական ձևերն ու նախշերը կազմում են բարդ կառուցվածքներ, որոնք թույլ են տալիս ներծծող նյութերին, էլեկտրական հատկություններին և լարերին միացումն ավարտել և կատարել տեխնոլոգիական նպատակ:
Ո՞րն է ֆոտոլիտոգրաֆիայի նպատակը:
Ֆոտոլիտոգրաֆիան միկրոֆրացման ամենակարևոր և ամենահեշտ մեթոդներից է և օգտագործվում է նյութի մեջ մանրամասն նախշեր ստեղծելու համար: Այս մեթոդով ձևը կամ նախշը կարող է փորագրվել լուսազգայուն պոլիմերի ուլտրամանուշակագույն լույսի ընտրովի ազդեցության միջոցով:
Ի՞նչ է կիսահաղորդչային լիտոգրաֆիայի սարքավորումը:
Կիսահաղորդչային լիտոգրաֆիայի սարքավորումը օգտագործվում է կիսահաղորդչային չիպի ազդեցության փուլումարտադրական գործընթաց. … Կիսահաղորդչային լիտոգրաֆիայի սարքավորումն օգտագործում է պրոյեկցիոն ոսպնյակ՝ նվազեցնելու շղթայի նախշը, որը գրված է օրիգինալ ափսեի վրա, որը կոչվում է ցանց, և ցուցադրում է նախշը վաֆլի վրա:
